檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "徐勝均".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="解析度"
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本系統主要在光譜儀分析模擬,利用TracePro7軟體光跡模擬羅倫圓光柵分光特性。利用光柵反射出光線,於各波長主中軸上設置了一系列偵測面,藉由偵測面的輻照圖(斑點圖),搭配Matlab軟體分析得到各…
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微影製程有兩項重要指標,一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上,二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…